HIOKI日置
HITACHI日立
Mitutoyo三丰
Alicat艾里卡特
SIGLENT鼎阳
Tektronix泰克
是德
菊水
吉时利
艾德克斯
致茂
量程范围:0.5 SCCM 至 5,000 SLPM
测量范围: 1% – 100% F.S.
精度:读数的 0.8% 和 0.2% F.S.
可选高精度:读数的 0.4% 和 0.2% F.S.
重复性:±0.2% F.S.
响应时间:<10 毫秒
工作温度:–10°C 至 +60°C
工作压力:160 PSIA (11 barA)
可充电电池寿命:18 小时
同时测量体积流量、质量流量、气体压力和气体温度。
现场可调工程单位列表和 STP/NTP 条件。
从 98 多种预加载的 NIST 可溯源气体校准中选择工艺气体。
定义和存储多达 5 种成分气体的 20 种自定义气体混合物。
使用集成触摸板从背光显示屏和控制配置中读取测量值。
可选的集成双流量累加器和警报器