LEGEX系列是初项达0.28μm的高精度CNC三坐标测量机，对所有可能产生误差的因素进行严格分析并排除或**程度地降低其影响。
● 本体底座部分严选材料，采用密封结构以实现高刚性、高衰减性。采用FEM结构解析模拟进行彻底的应力分析，保证了几何运动精度，使负荷及其它变量波动造成的误差降至最小。此外，还引入了各种技术来实现超高精度，如驱动单元的结构和振动对策等。
● 用于位置检测的长度测量单元配备了超高精度测量单元（自社开发），该单元采用热膨胀系数为≒0的超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射线性编码器的组合，具有极高的位置检测能力，可实现超高精度的机器控制功能。此外，提供丰富的选件，包括触发式和非触发式测头，数据处理部等支持各种工件轻松实现高精度测量。
● 初项精度：0.28μm~
