日立扫描电子显微镜-SU3800/SU3900

品牌：	HITACHI日立
产品：	扫描电子显微镜
型号：	SU3800/SU3900

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产品详情

规格表

集优异性能、操作简便性、多样化功能于一身

日立高新推出的扫描电镜SU3800/SU3900兼具操作性和扩展性，结合众多的自动化功能，可高效发挥其高性能。SU3900标配多功能超大样品仓，可应对大型样品的观察。

产品规格：

ITEM		SU3800	SU3900
二级电子分解能		3.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、高真空模式）
二级电子分解能		15.0nm（加速电压1kV、WD=5mm、高真空模式）
背散射电子分解能		4.0nm（加速电压30kV、WD=5mm、低真空模式）
倍率		×5～×300,000（照片倍率*1）
倍率		×7～×800,000（实际显示倍率*2）
加速电压		0.3kV～30kV
低真空度设定		6～650 Pa
图像位移		±50µm（WD＝10mm）
**样品尺寸		200mm直径	300mm直径
样品台	X	0～100mm	0～150mm
	Y	0～50mm	0～150mm
	Z	5～65mm	5～85mm
	R	360°连续
	T	－20°～+90°
	**可观察范围	130mm直径（R并用）	200mm直径（R并用）
	**可观察高度	80mm（WD=10mm）	130mm（WD=10mm）
	电机驱动	5轴电机驱动
电子光学系统	电子枪	中心操控式钨丝发射
	物像镜头光圈	4孔可动光圈
	检测系统	二级电子检测器、高灵敏半导体背散射电子检测器
	EDX分析WD	WD＝10mm（T.O.A＝35°）
图像显示	自动光轴调整功能	自动光束调整（AFS→ABA→AFC→ABCC）
		自动光轴调整（实时级别对齐）
		自动调整光束亮度
	自动图像调整功能	自动亮度和对比度控制（ABCC）
		自动对焦控制（AFC）
		自动标记和焦点功能（ASF）
		自动灯丝饱和度调整（AFS）
		自动光束对准（ABA）
		自动启动（HV-ON→ABCC→AFC）
操作辅助功能		光机旋转、动态聚焦、图像质量改善功能、数据输入（点对点测量、角度测量、文本）、预设放大、样品台位置导航功能（SEM MAP）、光束标记功能
配件		■硬件:轨迹球、操纵杆、操作面板、压缩机、高灵敏度操作低空探测器（UVD）、红外CCD探测器、摄像机导航系统■软件:SEM数据管理器外部通讯接口、3D捕获、装置台移动限制解除功能、EDS集成
配件（外部装置）		能量散射X射线分析仪（EDS）、波长色散X射线分析仪（WDS）、各种外部功能台（加热台、冷却台、牵引台）