AFM5100N除了激光检测方式之外，全新的「自检测悬臂」，在保证高分辨表面形貌观察的同时，大大简化了AFM悬臂操作。
参数规格：
| 检测方式 | 激光检测方式/自检测方式 |
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| 样品尺寸 | **35 mmφ、厚度10 mm（专用配件厚度扩展至20 mm） |
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| 扫描范围 | 20 µm/1.5 µmH（水平/垂直） 100 µm/15 µmH 150 µm/5 µmH 110 µm/6 µmH（闭环差控制）
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| 定位显微镜 | 搭载CCD的 变焦显微镜 光学显微镜 金相显微镜 （可以选配）
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| 减震方式 | |
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| 操作画面 | 搭载流程图的操作导航系统 |
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| 检测功能 | |
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| 扩展功能 | AFM、STM、SIS、FFM、LM-FFM、VE-AFM/DFM、Adhision、CURRENT、KFM、PRM、SNDM、SSRM、EFM、MFM |
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产品特点：
1. 简便的悬臂安装
通常的悬臂是非常渺小而且很难操作，内部装有传感器的「自检测悬臂」比普通的AFM探针要大得多，容易拿取，安装非常简单方便。
2. 不用调整激光光斑的自检测方式
激光检测方式的探针需要调节激光光斑的位置，操作复杂，而采用自检测方式的「自检测悬臂」无需调节激光光斑。
3. 精确的悬臂定位
悬臂的机械结构，能够以俯视方式直接观察悬臂的位置，从而轻松调整样品的测量的位置。除此之外，更加尖锐的探针提高了分辨率。
4. 方便的操作导航系统
通过流程图形式的导航系统，任何人都可以轻松地进行高分辨表面测量。另外，通过设定样品的软硬度和凹凸系数等参数，能够简单确定测量条件。
5. 紧凑的主机
主机上包含减震台、隔音罩、光学显微镜等附件，安装紧凑，体积小巧。
6. 优越的扩展功能
通过激光检测方式，能够扩展各种各样的选配功能。另外，只要插拔一根电缆就能够切换成激光检测方式。
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